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연마기에서는 백금강옥 또는 금강사 등을 배합하여 만든 연마액으로 규소를 일정한 두께와 매끄러운 정도를 가진 공예를 연마한다.단면 연마와 이면연마에는 두 가지 방식이 있다.
부품과 집적회로의 제작요구에 부합되는 규소판을 제조하려면 반드시 광택을 내여 잔류된 손상층을 제거하고 일정한 두께의 고평도의 규소판을 얻어내야 한다.광택에는 기계적 광택, 화학적 광택, 전자빔 광택, 이온빔 광택이 있는데, 비교적 보편적으로 사용하는 것은 화학기계적 광택이다.화학 기계적 광택은 화학적 부식과 기계적 연마를 동시에 진행하는 것으로, 구리 이온 광택, 크롬 이온 광택 및 일반적으로 사용하는 이산화규소 콜로이드 광택으로 나누어진다.이산화 규소 콜로이드 광택 극히 미세한 이산화 규소 분말, 수산화 나트륨 (또는 유기 알칼리), 물과 혼합하여 만든 콜로이드 광택 액체이다.광택과정에서 수산화나트리움은 규소표면과 규산나트리움을 반응시키며 이산화규소교질체와의 연마를 통하여 규산나트리움을 광택액에 넣는데이 두가지 과정을 끊임없이 동시에 진행하여 광택을 내는 목적에 도달한다.다른 요구 사항에 따라 사용 한 번 광, 두 번 광 (굵은 광 및 정밀 광) 또는 세 번 광 (굵은 광, 중간 광 및 정밀 광).표면품질과 평탄도에 대한 초대규모집적회로의 요구를 만족시키기 위하여 무초광택 (無草光)과 무연마재 (無연마재) 광택 등 새로운 기술공정이 있다.
연마재를 입히거나 삽입한 연삭 도구로 부품 표면을 연마하는 연마기.주로 연마 부품 중 고정밀 평면, 내외 원기둥면, 원추면, 구면, 나사면 및 기타 형을 연마하는데 쓰인다.연마기의 주요 유형에는 원반식 연마기, 회전축식 연마기와 각종 전용 연마기가 있다.
① 원반식연마기:단디스크와 쌍디스크 두가지로 나뉘는데 쌍디스크연마기가 가장 보편적으로 응용된다.
② 회전 축 연마 기계:양, 역방향 회전 주축에 의해 부품 또는 연구 도구 (조정 연마 링 또는 연마 봉) 회전, 구조가 비교적 간단한 연마에 사용 내부, 외부 원통 표면.
③ 특수 연마기:연마하는 부품에 따라 센터홀 연마기, 스틸볼 연마기와 기어 연마기 등이 있다.
이밖에 또 무중력연마원리와 류사한 무중력연마기가 있는데 원통형의 부속품을 연마하는데 쓰인다.
연마기의 다양한 성능은 다음과 같다.
1, 광택 기계 진동 연마 광택 가공 과정 안 손상 부품 원래의 크기, 모양.
2, 광택 기능 능동, 조작 편리, 작업 과정에서 수시로 부품 가공 상황을 검사할 수 있습니다.
3, 사각형 더블 연마 기계 선택 세계 선두 나선 플립 활동, 3차 진동 원리, 그래서 부품과 연마 공구 상호 연마 광택 작용에 도달합니다.
4, a 유형 광택 기계는 적극적으로 연마재와 부품 분리, 적극적인 재료 선택의 완성, 인력 비용을 절약 할 수 있습니다.
5, 연마 기계 적용 중, 소형, 스케일 부품 연마 광택 가공, 몇 배 진보, 약 1/3의 비용을 절약.
