研磨机の上で、白剛玉あるいは金剛砂などで制の研磨液を使ってシリコンウエハーを一定の厚さとあらさのプロセスに研磨します。片面研磨と両面研磨があります。
デバイスや集積回路の製作に適したシリコンウエハ表面を作製するためには、残留した損傷層を除去し、ある程度の厚さの高い鏡面シリコンウエハを得るために研磨しなければなりません。研磨分机械研磨、化学研磨、電子束研磨、イオン束研磨、より一般的に採用したのは化学机械研磨です。化学机械研磨は化学腐食と机械研削を同時に行います、銅イオン研磨、クロムイオン研磨と普遍的に採用するシリカ膠体研磨に分けます。シリカのコロイド研磨液は、極細のシリカ粉、水酸化ナトリウム(またはアルカリ)、水から作られます。研磨の過程で、水酸化ナトリウムとシリコンの表面はシリコン酸ナトリウムに反応して、二酸化シリコンのコロイドの研削を通じて、シリコン酸ナトリウムは研磨液に入って、2つの過程は止まることなく同時に研磨の目的を達成します。ご要望に応じて、1回磨き、2回磨き(粗磨き、精密磨き)、3回磨き(粗磨き、中間磨き、精密磨き)が可能です。超lsiの表面品質と平坦度の要求を満たすために、ワックスなし研磨と無研磨研磨などの新しいプロセスがあります。
研磨材を塗ったり埋め込んだりする研具でワーク表面を研磨する研削盤です。主に研磨ワークの中の高精度平面、内外円柱面、円錐面、球面、ねじ面とその他の型面に使われます。ミルの主なタイプは円盤式ミル、回転軸式ミルと各種の専用ミルがあります。
①円盤式研磨机:分単盤と双盤の2種類、双盤研磨机の応用は最も普通です。
②回転軸式研磨机:正、逆回転の主軸によってワークや研具(調整式研磨リングや研磨棒)回転して、構造は比較的簡単で、内、外円柱面を研磨します。
③専用ミル:研磨されるワークによって、センターホールミル、ボールミル、ギアミルなどがあります。
無心研削に似た無心ミルがあり、円柱形のワークを研磨します。
ミルの多様な性能:
1、研磨机の振働研磨研磨プロセスは、部品の元のスケール、形状を損なうことはありません。
2、研磨機能が完成して能動化して、操作が便利で、作業の進行の中で、いつでも部品の加工状況を検査することができます。
3、方達両面研磨机は選んで世界で進んでいる螺旋ロール活働、三元次振働の原理を使用して、部品と研磨具の相互研磨に到達して研磨の役割をさせます。
4、Aタイプの研磨机は自発的に研磨料とワークを分けることができて、自発的に材料を選んで完成して、人件費を節約します。
5、研磨机は大ロットの中で、小さくて、尺度の部品の研磨研磨加工に適用して、進歩は数倍で、元手を節約して大体3分の1です。
